本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件，尝试通过本课程掌握微型 化技术。课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合；着重提取基础、重点和共性知识，强调基础理论和制 造方法在不同领域的应用，并紧密结合前沿的学术研究和工业界的产品发展动态。