“微电子工艺”是电子信息领域的专业核心课程。该课程系统介绍了微电子工艺基础知识及未来发展趋势。重点阐述集成电路关键单项工艺的原理、方法、应用,及其依托的技术基础知识;简介金属互联系统、典型工艺集成、关键工艺设备等。本课程具有内容繁杂,涉及面广,实用性强,更新发展速度快的特点。